圧力センサー用語
絶対圧力:真空状態を0として測った圧力。通常単位の後ろにabs(絶対圧)を付け表します。
高度圧力トランスデューサー:気圧より高度を決定するのに使う気圧トランスデューサー。
標準出力:測定によって増幅したり補正されたりしないセンサーの生の出力。
最適直線:最大偏差の同じ3点を含む真の応答曲線を最適化した直線。(BSL)
破壊耐圧:センサーが破壊されずに使用できる最大の圧力。

コモンモード誤差:入力圧力とは無関係の誤差。全ての圧力トランスデューサーにおいて、オフセット誤差はコモンモード誤差となります。
コモンモード圧力:ダイアフラムの両サイドに同時に加えられる圧力。

補正出力:オフセットやスパン、オフセットとスパンにおける温度影響、非直線性、姿勢特性、上下直線性、ウォームアップといった性能を表すパラメータが補正された圧力センサーの出力。性能パラメータの補正は、設計上行われているものや実際の測定により行われています。例えばAパッケージ製品は、本質的に直線性と姿勢特性の誤差を補正しています。測定によって補正されるパラメータの例としては、オフセットやスパンにおける温度補正があります。

差圧:2つの圧力データの圧力差。通常、ポンド平方インチ差(差圧)で表わされます。片方が完全な真空の場合、その圧力差は絶対圧力と呼ばれます。片方が大気圧ならば、その圧力はゲージ圧力と呼ばれています。
差圧トランスデューサー:2つの圧力値の差を測るデバイスもしくは機器。

デジタル出力:一般に、I2CやSPIといった標準インターフェイスを通して、デジタル化(量子化)された形で出力される圧力センサーのタイプ。デジタル出力の利点は、耐ノイズ性やマイクロプロセッサ(MP)への直接的なインターフェースがあるという事です。

エラーバンド:最適直線(BSL)の上下の直線や与えられたノーマルモード。又はコモンモードにおける最適化直線(BSL)とのトランスデューサー応答との偏差。

フルスケール:エンドポイント間の代数的差。あるエンドポイントがオフセット電圧(0)の場合、他のエンドポイントは範囲の上限となります。

フルスケールシフト:特定の温度範囲内でのセンサー出力電圧のシフト。これは温度感度係数に等しくなります。この温度感度曲線は、基本ピエゾ抵抗素子の温度感応係数の二次曲線に非常に近いものとなります。ミリボルト出力センサーにとっては抵抗体により補正され、増幅出力センサーでは、特定の圧力やある温度の範囲でデータにフィットするようASICで補正されます。

ゲージ圧:大気圧を基準として計測される圧力。(基準とする大気の導入口が必要となる。)
圧力ヒステリシス:圧力ヒステリシスは、圧力サイクルの前後における標準状態での出力の最大差。
互換性:同じ圧力レンジや温度範囲においてトランスデューサーが同モデルの別のトランスデューサーに取り換えられた時、得られる最大出力偏差によって定義されるもの。

直線性:圧力センサーに無負荷から定格圧力を加えた時、無負荷と定格圧力を結ぶ直線と実測値との最大誤差。又はフル稼働圧力範囲における理想出力電圧に対する出力電圧応答の誤差。定温(25℃)における出力の最大偏差はそれぞれのY = 測定値となる3点(オフセット圧力、フルスケール圧力、半フルスケール圧力)によって決まる「最適直線」により決定されます。(誤差は、スパン出力に対する %FS で表します。)
ヒステリシス:圧力センサーに圧力を無負荷から定格圧力まで加圧させた時と、定格圧力から無負荷まで減圧させた時の、出力の同一値における最大誤差。これらは圧力の関数であって温度の関数ではありません。この誤差は3点の圧力において測定された圧力によって計算されます。「最適直線」におけるゼロ圧、フルスケール圧力、半フルスケール圧力らにより計算された圧力は測定データにフィットします。

最小値 / 最大値:仕様における最大値及び最小値。これらは試験限度と仕様限度間の範囲において全数試験されています。
最確誤差:トランスデューサーに関する全ての誤差の2乗の和の平方根を計算する事によって得られる誤差。
基準値:最初の製造期間中に製造された製品の仕様の平均値。
ノーマルモード誤差:主要な入力変数(入力圧力)の関数。(通常の場合入力変数に比例して計算される誤差)

オフセット較正:オフセット電圧の較正時における最大誤差によって定義。
オフセット誤差:オフセット電圧の規定値における最大偏差によって定義されるコモンモードの誤差。これには温度、繰り返し性、安定性誤差を含みます。

オフセット長期ドリフト:特定の長期期間において起こるオフセット電圧の変化。過去の研究により原因としては、ピエゾ抵抗素子にあると言われていましたが、現在この誤差に関しては、単一の原因があるとはされていません。オールセンサーズの低圧力センサーは2つの感応ダイの相互補正を使用しているので、独自のオフセット長期ドリフト補正がなされています。ウォームアップシフト試験において、オールセンサーズの製品は一般的なオフセット長期ドリフトの問題がある場合、通常の検査で発見できるので不適合品は出荷されません。

オフセット姿勢特性:センサーの取り付け位置の変化によるオフセット電圧の変化。15 psiを超えている圧力でのセンサーは実質的には姿勢特性はありません。センサーのダイアフラムは質量を持っており、ダイアフラムの厚さに対する質量の割合は圧力範囲が狭まるにつれて増えるため、姿勢特性は圧力範囲が減るにつれて増えます。オールセンサーズの低圧力センサーは2つの感応ダイの相互補正がおこなわれているので、ほとんどのセンサーで固有のオフセット姿勢特性補正がなされています。

オフセット繰り返し性:特定範囲外での温度や圧力にさらされた後、25℃で測定された、オフセット電圧を再生するためのトランスデューサーの能力を表した係数。
オフセット安定性:一定の圧力や温度においてオフセット電圧を維持するためのトランスデューサーの能力を表した係数。
オフセット温度係数:温度が25℃から特定範囲内のある温度へと変化する時におけるオフセット電圧の最大偏差によって定義される係数。
オフセット温度シフト:特定の温度範囲での出力オフセット電圧の変化。増幅されないセンサーは、仕様の限度は25℃、最大温度、最小温度、そして25℃の3点において試験されています。アンプ内蔵型の圧力センサーにおいては、測定されるデータ点はもっと多く、数学的にデータにフィットするよう補正されています。一般的にオフセット温度シフトの特徴を表す方程式はありません。オールセンサーズの低圧力センサーは2つの感応ダイの相互補正を使用しているので、ベーシックセンサーでも固有のオフセット温度補正がなされています。

オフセット電圧:センサーがダイアフラムを通じてゼロ差圧を計測する時の出力電圧。絶対圧力センサーにおいては、センサーが絶対圧力ゼロを測定する時、ダイアフラムを通じてのゼロ差圧があります。ゲージ又は差圧センサーにおいては、ダイアフラムの両サイドが同じ圧力となっている時にゼロ差圧があります。

オフセットウォームアップシフト:動作して初めの1時間内でセンサーに加圧された時に起こる出力オフセット電圧の変化。オールセンサーズはこのパラメータに関して全ての低圧力センサーで試験を行っています。弊社の低圧力センサーは、2つの感応ダイによる相互補正をおこなっているので、ベーシックセンサーでもオフセットウォームアップシフト補正がなされています。

動作範囲:センサーを試験する時の圧力範囲。ミリボルト出力のセンサーでは、この範囲は仕様に対して少なくとも特定の範囲の2倍まで拡大することが出来ます。アンプ内蔵型センサーにおいては、出力電圧限度の直前10%分だけ拡大することが出来ます。

出力スパン電圧:定格圧力電圧からオフセット電圧を引いた電圧範囲。特定の動作圧力範囲における出力電圧範囲です。内部電圧基準のないセンサーにおいては、スパンはセンサーへの供給電圧に比例します。内部基準電圧のあるセンサーに対する供給電圧の変化は、加えられる圧力の出力スパンの変化となります。

過負荷耐圧―最大値:トランスデューサーの性能や正確さの変化なしで特定の限度を超えて加える事が出来るノーマルモード(で測定される)圧力の最大値。これは差圧式トランスデューサーのどちらのポートにも適用されます。これは「保証圧力」とも呼ばれます。
精度―較正済み:1つの特定のトランスデューサーに特有の基準に合わせた時の最適直線(BSL)に対する複合エラーバンド(許容誤差範囲)。これはオフセットや感度測定誤差を含みません。全ての他のオフセットやスパン誤差、つまり温度、繰り返し性、安定性、直線性、ヒステリシスといったものを含みます。

精度―互換性:理想的なトランスデューサーの応答性に対する複合誤差。安定性誤差はすでに特定の較正誤差に含まれているため、これは安定性誤差には含みません。全ての他のオフセットスパン誤差、つまり較正、温度、繰り返し性、直線性、ヒステリシスといったものを含みます。

定格圧力:これは仕様の性能の変化を起こさずにセンサーに加えられる最大の圧力です。
基準圧力:変換器の誤差を測るにおいて基準になる圧力。
基準温度:変換器の誤差を測るにおいて基準になる温度。
繰り返し性:特定範囲内での温度や圧力にさらされた後、ある特定の温度や圧力においての出力信号パラメータ(オフセットやスパン等)が再現できるトランスデューサーの能力を表したもの。

感度:入力圧力変化に対する出力信号電圧の変化の割合。感度は特定の入力圧力範囲に対するスパンの割合を計算する事によって決まります。
感度補正:補正された感度における最大誤差によって定義される補正。
スパン:特定の最大そして最小の動作圧力において測定されるトランスデューサーの出力信号の誤差。
スパン誤差:特定のスパンでのスパン最大偏差によって定義される、ノーマルモードでのエラーバンド(許容誤差範囲)。これは感度補正、温度、直線性、ヒステリシス、繰り返し性、安定性偏差を含みます。

スパン繰り返し性:特定範囲内で温度や圧力にさらされた後、25℃でトランスデューサーがスパンを再現できるトランスデューサーの能力を表したもの。
スパン温度係数:温度が25℃から特定範囲内のある温度へと変化する時におけるスパンの最大偏差によって定義されるエラーバンド。
スパン安定性:一定の温度で特定範囲内の温度においてスパン電圧を維持するためのトランスデューサーの能力を表したエラーバンド。

安定性:一定の温度や圧力レンジにおいて出力パタメータ(オフセットやスパン等)を維持するためのトランスデューサーの能力を表したエラーバンド。
供給電圧:圧力センサーの入力端子に供給される電源電圧。
温度係数(TC):温度が25℃から特定範囲内のある温度へと変化する時における出力パラメータ(オフセットやスパン等)の最大偏差から生じるエラーバンド。これは通常ppm/°C や µV/V/°Cで測定されます。

補正温度出力:温度に依存する誤差を補正する圧力センサーの出力。特にスパンやオフセットに依存する温度が補正されます。圧力センサー出力パラメータは温度変数に敏感で、特に圧力スパンやゼロ差圧出力(オフセット)は温度に依存します。この温度依存を相殺するために、オールセンサーズは、特定の温度範囲におけるスパンやオフセットの温度変数を相殺する内部回路のあるセンサー製品を提供しています。補正された温度出力はアナログ(非増幅のmV、4V増幅)出力やデジタル(SPIとI2C)出力です。

真空:完全な真空は、空気の流れがありません。絶対真空は、圧力0の仮想的状態です。
真空範囲:これは完全な真空(0 psia)と1大気圧(14.697 psia)の間の絶対圧力の範囲です。
真空トランスデューサー:トランスデューサーは真空範囲内で圧力測定のために較正されます。これは通常、絶対圧変換器ですが、ゲージ圧変換器の場合もあります。
総合誤差:センサーのみならずトランスデューサー全体での、誤差の全ての和によって得られるエラーバンド(許容誤差範囲)。