オールセンサーズアジアパシフィック株式会社  (オールセンサーズ)

用語定義

絶対圧力:真空状態を0として測った圧力。通常ポンド平方インチ(絶対圧)で表されます。

高度圧力トランスデューサー:気圧高度情報より高度を決定するのに使う気圧トランスデューサー。

自動参照:1つ以上の関連する圧力を抽出して誤差を除去し出力信号機能を訂正する技術。

気圧トランスデューサー:大気圧を測定する絶対圧力トランスデューサー。

標準出力:測定によって増幅したり補正されたりしない圧力センサーの生の出力。

最適直線(BSL):最大偏差の同じ3点を含む真の変換応答曲線を選んだ最適直線。

破壊耐圧:センサーが破壊されずに使用できる最大の圧力。

コモンモード誤差:主要入力変数(入力圧力)とは無関係の誤差。全ての圧力トランスデューサーにおいて、全てのオフセット誤差はコモンモード誤差です。

コモンモード圧力:ダイアフラムの両サイドに同時に加えられる圧力。

補正出力:オフセットやスパン、オフセットとスパンにおける温度影響、非直線性、姿勢特性、上下直線性、ウォームアップといった1つ以上の性能パラメータが補正された圧力センサーの出力。性能パラメータの補正は設計や測定によって行われます。いろいろな補正が設計によって行われます。例えば、全てのAパッケージ製品は本質的に上下直線性と姿勢特性の誤差を補正します。測定によって補正されるパラメータの例としてはオフセットやスパン、オフセットとスパンにおける温度影響があります。

差圧:2つの圧力データの圧力差。通常、ポンド平方インチ差(差圧)で表されます。1つのデータが完全な真空ならば、その圧力差は絶対圧力と呼ばれます。1つのデータが大気圧ならば、その圧力はゲージ圧力と呼ばれます。

差圧トランスデューサー:入力部分へと送られる2つの圧力データの差を測る機器。

デジタル出力:一般に、I2CSPIといった標準インターフェイスを通して個別に数値化(量子化)された形で表される圧力センサーの出力。デジタル出力信号の利点は耐ノイズ性や低素子数が改善されるホストマイクロプロセッサ(uP)への直接的なインターフェィスであるという事です。

エラーバンド:最適直線(BSL)の上下の直線や与えられたノーマルモードもしくはコモンモード誤差のために測る最大偏差を含む最適直線(BSL)からのトランスデューサー応答の偏差。

フルスケール:エンドポイント間の代数的差。あるエンドポイントがオフセット電圧(0)なら他のエンドポイントは範囲の上限です。

フルスケールシフト:特定の温度範囲内での圧力に敏感なセンサー出力電圧のシフト。これは温度感度係数に等しいです。この変換曲線の特徴は基本ピエゾ抵抗の変換素子の二次方程式に非常に近いです。ミリボルト出力機器にとって、これは受動抵抗で補正され、増幅出力機器にとって、これは、特定の圧力や温度の範囲のそれぞれの部分のデータにフィットする二次曲線で補正されるASICです。この変換曲線の特徴は他の状況によって変化しません。

ゲージ圧:大気圧との相対圧力。

圧力ヒステリシス:圧力ヒステリシスは圧力サイクルの前後における標準状態での出力の最大差。

互換性:同じ圧力レンジや温度範囲においてトランスデューサーが同モデルの別のトランスデューサーに取り換えられた時に得られる最大信号偏差によって定義されるエラーバンド。

直線性:定温(25℃)における出力の最大偏差はそれぞれの機器でY= 測定値となる3点(オフセット圧力、フルスケール圧力、半フルスケール圧力)によって決まる「最適直線」から決定されます。

直線性、ヒステリシス誤差:フル稼働圧力範囲における理想出力電圧応答に対する出力電圧応答の誤差;圧力に対する出力信号応答の1次変換曲線からの偏差。この誤差は圧力の関数であって温度の関数ではありません。この誤差は3点の圧力において測定された圧力によって計算されます。「最適直線」におけるゼロ圧、フルスケール圧力、半フルスケール圧力そして計算された圧力は測定データにフィットします。

最小値 /最大値:これは仕様における最大値および最小値です。これらは試験限度と仕様限度間の保護帯域において一般的に全数試験されます。

最確誤差:トランスデューサーに関する全ての誤差の2乗の和の平方根を計算する事によって得られるエラーバンド。

基準値:最初の製造期間中に製造された製品の仕様の平均値。

ノーマルモード誤差:主要な入力変数(入力圧力)の関数(通常の場合入力変数に比例して計算される誤差)。

オフセット較正:オフセット電圧の較正における最大誤差によって定義されるエラーバンド。

オフセット誤差:オフセット電圧の規定値における最大偏差によって定義されるコモンモードのエラーバンド。これは、較正、温度、繰り返し性、安定性誤差を含みます。

オフセット長期ドリフト:特定の時間において起こる可能性のあるオフセット電圧の変化。長年の研究により考えられる原因としてはピエゾ抵抗圧力センサーです。現在この誤差に関する確たる単一の原因や重要な原因はありません。オールセンサーズの低圧力センサーは2つの絶縁体の相互結合補正を使用しているので、固有のオフセット長期ドリフト補正がされます。ウォームアップシフト試験においてオールセンサーズの製品は一般的にいかなるオフセット長期ドリフトの問題がある場合は本試験と同一視できるので、不適合品は却下されます。

オフセット姿勢特性:センサーの取り付け位置の変化によるオフセット電圧の変化。15psiを超えている圧力でのセンサーは実質的には姿勢特性はありません。センサーのダイアフラムは質量を持っており、ダイアフラムの厚さに対する質量の割合は圧力範囲が減るにつれて増えるため、姿勢特性は圧力範囲が減るにつれて増えます。オールセンサーズの低圧力センサーは2つの絶縁体の相互結合補正を使用しているので、ほとんどの基本的なセンサーでさえ固有のオフセット姿勢特性補正があります。

オフセット繰り返し性:特定範囲外での温度や圧力にさらされた後、25℃で測定された、オフセット電圧を再生するためのトランスデューサーの能力を表したエラーバンド。

オフセット安定性:一定の圧力や温度においてオフセット電圧を維持するためのトランスデューサーの能力を表したエラーバンド。

オフセット温度係数:温度が25℃から特定範囲内のある温度へと変化する時におけるオフセット電圧の最大偏差によって定義されるエラーバンド。

オフセット温度シフト:特定の温度範囲での出力オフセット電圧の変化。増幅されないセンサーは、仕様の限度は25℃、最大温度、最小温度、そして25℃3点において試験されます。増幅される圧力センサーにおいては、測定されるデータ点はもっと多く、数学的にデータ点にフィットするよう補正されます。一般的にオフセット温度シフトの特徴を表す方程式はありません。オールセンサーズの低圧力センサーは2つの絶縁体の相互結合補正を使用しているので、ほとんどのベーシックセンサーは、固有のオフセット温度シフト補正があります。

オフセット電圧:センサーがダイアフラムを通じてゼロ差圧を計測する時の出力電圧。絶対圧力センサーにおいては、センサーが絶対圧力ゼロを測定する時、ダイアフラムを通じてのゼロ差圧があります。ゲージもしくは差圧センサーにおいては、ダイアフラムの両サイドが同じ圧力となっている時にゼロ差圧があります。

オフセットウォームアップシフト:動作して初めの1時間内で圧力がセンサーに伝わった時に起こる可能性のある出力オフセット電圧の変化。オールセンサーズはこのパラメータに関して全ての低圧力センサーで試験を行っています。弊社では低圧力センサーは2つの絶縁体の相互結合補正を使用しているので、ほとんどのベーシックセンサーは固有のオフセットウォームアップシフト補正があります。

動作範囲:センサーを試験する時の圧力範囲。ミリボルト単位の出力のセンサーでは、この範囲は仕様に対して少し低下した時にのみ少なくとも特定の範囲の2倍拡大することが出来ます。増幅されるセンサーにおいては、出力が出力電圧限度まで達する前に10%だけ拡大することが出来ます。

出力スパン:これは特定の動作圧力範囲における出力電圧です。内部電圧基準のないセンサーにおいては、スパンはセンサー供給電圧に比例します。内部電圧基準のあるセンサーに対する供給電圧の変化は加えられる圧力の出力スパンの変化となります。スパンはフルスケール圧力でのオフセット電圧から出力電圧への差です。

過負荷耐圧―最大値:トランスデューサーの性能や正確さの変化なしで特定の限度を超えて加える事が出来るノーマルモード(で測定される)圧力の最大値。これは差圧式トランスデューサーのどちらのポートにも適用されます。これは「保障圧力」とも呼ばれます。

精度―較正済み:1つの特定のトランスデューサーに特有の基準に合わせた時の最適直線(BSL)に対する複合エラーバンド。これはオフセットや感度測定誤差を含みません。全ての他のオフセットやスパン誤差、つまり、温度、繰り返し性、安定性、直線性、ヒステリシスといったものを含みます。

精度―互換性:理想的なトランスデューサーの応答特徴に対する複合誤差帯域。安定性誤差はすでに特定の較正誤差に含まれているためこれは安定性誤差を含みません。全ての他のオフセットスパン誤差、つまり、較正、温度、繰り返し性、直線性、ヒステリシスといったものを含みます。

定格圧力:これは仕様の性能の変化を起こさずにセンサーに加えられる最大の圧力です。

基準圧力:変換器の誤差を測るにおいて基準になる圧力。

基準温度:変換器の誤差を測るにおいて基準になる温度。

繰り返し性:特定範囲内の他の温度や圧力にさらされた後、ある特定の温度や圧力において、出力信号パラメータ(オフセットやスパンなど)を再生するためのトランスデューサーの能力を表したエラーバンド。

感度:対応する入力圧力変化に対する出力信号電圧の変化の割合。感度は特定の入力圧力範囲に対するスパンの割合を計算する事によって決まります。

感度補正:補正された感度における最大誤差によって定義されるエラーバンド。

スパン:特定の最大そして最小の動作圧力において測定されるトランスデューサーの出力信号の算術差。

スパン誤差:特定のスパンの値でのスパンの最大偏差によって定義されるノーマルモードのエラーバンド。これは感度補正、温度、直線性、ヒステリシス、繰り返し性、安定性偏差を含みます。

スパン繰り返し性:特定範囲内の他の温度や圧力にさらされた後、25℃において、トランスデューサーのスパンを再生するためのトランスデューサーの能力を表したエラーバンド。

スパン温度係数:温度が25℃から特定範囲内のある温度へと変化する時におけるスパンの最大偏差によって定義されるエラーバンド。

スパン安定性:一定の温度で特定範囲内の温度においてスパン電圧を維持するためのトランスデューサーの能力を表したエラーバンド。

安定性:一定の温度や圧力レンジにおいて出力パタメータ(オフセットやスパンなど)を維持するためのトランスデューサーの能力を表したエラーバンド。

供給電圧:圧力センサーの入力端子に供給される電源電圧。

温度係数(TC):温度が25℃から特定範囲内のある温度へと変化する時における出力パラメータ(オフセットやスパンなど)の最大偏差から生じるエラーバンド。これは通常ppm/°CµV/V/°Cで測定されます。

補正温度出力:相殺温度に依存する誤差を補正する圧力センサーの出力。特にスパンやオフセットに依存する温度が補正されます。圧力センサー出力パラメータは温度変数に敏感で、特に圧力応答(スパン)やゼロ差圧出力(オフセット)は温度に依存します。この温度依存を相殺するために、オールセンサーズは、特定の温度範囲におけるスパンやオフセットの温度変数を相殺する内部回路のあるセンサー製品を提供します。補正された温度出力はアナログ(非増幅のmV4V増幅)出力やデジタル(SPII2C)出力です。

真空:完全な真空は空気の流れがありません。

真空範囲:これは完全な真空(0psia)と1大気圧(14.697psia)の間の絶対圧力の範囲です。

真空トランスデューサー:トランスデューサーは真空範囲内で圧力測定のために較正されます。これは通常、絶対圧変換器ですが、ゲージ圧変換器の場合もあります。

総合誤差:トランスデューサーに関する適応可能な誤差の全ての和によって得られるエラーバンド。